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现在中芯国际拥有的光刻机是DUV光刻机，这样的光刻机能够生产最低7纳米制程工艺的芯片，而更先进的5纳米芯片只能是采用EUV光刻机进行生产。
1、现在中芯国际的制程能力
从现在中芯国际的制造技术来讲，可以说近两年是获得了突飞猛进的进展。现在中芯国际拥有DUV光刻机，这样的光刻机能够生产28纳米制程芯片，也能够生产14纳米和12纳米制程芯片，最低能够生产7纳米制程工艺芯片。
现在中芯国际14纳米制程工艺已经量产了，也就是说对于中芯国际来说，14纳米以上制程工艺芯片生产技术基本上已经突破，而且量产技术也已经过关了，良品率很高，已经能够实现大量生产。
因此，从现在来说，中芯国际量产技术能够实现14纳米以上制程芯片的量产。
2、中芯国际最新制程能力
现在中芯国际也已经研发成功了第二代N+1代生产技术，现在正处于客户导入阶段。N+1代工艺与14纳米相比，性能提升了20%，功耗降低了57%，SOC面积减小了55%，因此，n+1代工艺与台积电的7纳米制程工艺类似，只是性能提升的稍微小了一些。
而现在N+1代工艺制程已经进入客户导入阶段，有可能2020年底会小批量试产，这个也意味着中芯国际制程能力提升了一大步，基本上达到了7纳米的水平，跟台积电和三星半导体相比，可能只落后一代了。
现在台积电和三星半导体已经研发成功了5纳米生产技术，这个也意味着中芯国际已经进步很大，只是稍微落后一点点了。
3、中芯国际突破5纳米，必需要有EUV光刻机
中芯国际想突破5纳米制造工艺，必须要有EUV光刻机。但是现在对于中芯国际来说，最难的还是在EUV光刻机上面，如果没有EUV光刻机，那么中芯国际也很难研制成功5纳米芯片生产技术。
虽然中芯国际早已经订购了EUV光刻机，但是荷兰ASML公司迟迟不给发货，这个也是让中芯国际比较无奈了。
因为EUV光刻机如果迟迟不能到货，这个意味着短期内可能中芯国际没有办法生产5纳米制程芯片。
4、结论
综上所述，中芯国际现在拥有DUV光刻机，可以量产14纳米以上工艺芯片，现在N+1代已经研发成功，基本上达到了7纳米制程，年底有可能量产。但是如果中芯国家想突破5纳米技术，那么必须要有EUV光刻机，才能够实现5纳米芯片量产。
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